サイバーオプティクスセミコンダクター   製品紹介

装置改善プロジェクトに最適な測定ツールを紹介致します。

半導体プロセス装置の能率性改善と調整時間短縮を達成する為、世界中のデバイスメーカーから選ばれている革新的な測定ツールです。ウエハライク形状の測定器が半導体製造プロセス装置における客観的な測定を行うので、改善効果のある数値パラメータを誰でも簡単に取得することが出来るという高精度製品を提供しています。

  • 反射型マッピングセンサー

  • カセット内におけるウエハのあり/なし検出を行う反射型マッピングセンサー。その信頼性、安全性、メンテナンス性、フレキシビリティ性において優れています。厚みが薄くて、反射率の低い表面コーティングを施したウエハであっても検出することが可能です。

    • EX-Q - 反射型マッピングセンサー
    • EX-QS - コンパクト設計仕様
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