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CyberOptics Semiconductor      製品紹介

装置改善プロジェクトに最適な測定ツールを紹介致します。

半導体プロセス装置の能率性改善と調整時間短縮を達成する為、世界中のデバイスメーカーから選ばれている革新的な測定ツールです。ウエハライク形状の測定器が半導体製造プロセス装置における客観的な測定を行うので、改善効果のある数値パラメータを誰でも簡単に取得することが出来るという高精度製品を提供しています。

  • WaferSense®

  • プロセス装置の能率性を高めるための測定ツールです。客観的で信頼性の高いデータをベースに高精度な装置セットアップを行うことが可能です。 WaferSense技術により誰でも簡単に再現性のある結果を提供します。改善目的に沿った製品を選んでベストソリューションを見つけてください。

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  • ウエハーマッピングセンサー

  • カセット内ウエハの在りなし検出において絶大な信頼を得ているマッピングセンサーであり、その安全性、メンテナンス性、フレキシビリティ性において透過型マッピングセンサーの問題点を払拭致します。薄くて反射率の低いコーティングを施したウエハであっても検出することが可能です。精度の高いウエハーマッピングを求めているのであれば、まずはカタログをご参照ください。

    • EX-Q - 業界標準仕様
    • EX-QS - コンパクト設計仕様
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