ウエハーマッピング 製品紹介

弊社の反射型マッピングセンサーは、シンプルで信頼性の高いウエハー検出を実現致します。

カセットやFOUP内ウエハの在り無し状態を確認したり、スロットエラーを検出するための反射型ウエハマッピングセンサーです。薄くて暗い（反射率の低い）ウエハであっても、またウエハのサイズが様々あるシステムであっても粒子コンタミ発生の低いシンプルな構造で信頼性の高いマッピングシステムを簡単に構築出来ます。

先進的な光学技術により、今まで透過型マッピングセンサーでないと検出出来ないと言われていた対象物でも、確度の高いウエハ検出を実現致します。

	EX-Q 反射型マッピングセンサEX-Qであれば、信頼性の高いウエハ検出及びスロットエラーの検出をシンプルに実現出来ます。
	EX-QS 小型にデザインされたEX-QSは、実績のあるEX-Qと同等のマッピング性能を持ちます。