反射型マッピングセンサー EX-Q
反射型ウエハマッピングセンサーEX-Qであれば － 信頼性の高いウエハ検出をシンプルに構築できます
ウエハマッピングセンサーEX-Qは、カセットやFOUP内のウエハ在り無しやスロットエラーの検出をシンプルに信頼性高く実現することが出来ます。この先進的なセンサーは将来性を考慮し余裕のある検出感度を持っているので、どのサイズの薄くて反射率の低いウエハであっても簡単に検出することが出来ます。また駆動系のシステムを最小限度に抑えることが出来るので粒子コンタミ発生を抑える効果もあります。
EX-Qと透過型技術を比較した資料を参照するには、ここをクリック
反射型マッピングセンサEX-Qの写真館
特徴
- EX-Qには4つのスタンドオフ（焦点）距離があります。: 38.1mm, 55.9mm, 76.2mmと114.3mm
- 工場出荷設定の状態において様々なウエハタイプ（反射率の高低、薄型ウエハ）に対応可能。
- 周辺からの乱反射問題に対応した光学設計を行っています。
- 簡単に既存システムの性能を向上させることが可能なのでコストメリットがあります。
- シンプルなシステムを構築出来るので、不注意なウエハ破損などの損害を未然に防ぎます。
- 駆動系を最小限に抑えられるので粒子コンタミ発生を抑えることが出来ます。
- クロススロットや超薄型のウエハも検出することが出来ます。
- 備考: コネクター仕様はオプション対応しています。