反射型マッピングセンサ－ EX-QS
コンパクトに設計された反射型マッピングセンサEX-QSであれば、省スペース化に貢献します。
先進的なウエハマッピングの性能がより小さいパッケージにて実現することが出来ました。EX-QSはEX-Qを軽量コンパクトに設計したものであり、設置スペースに制限があるシステムなどに用いることが出来ます。EX-QSウエハマッピングセンサーであればEX-Qと同じ信頼性の高い検出性能を保ちながら簡単にシステム構築が出来ます。
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反射型マッピングセンサEX-QSの写真館
特徴
- EX-QS は2種類のスタンドオフ（焦点）距離に対応しています: 38.1mm と55.9mm.
- 工場出荷時の設定において、様々なサイズの反射率の高低度、コーティングの種類に対応出来ます。
- 周辺からの乱反射問題に対応した光学的設計を行っています。
- 今までのシステムを簡単に性能アップさせることが可能なので、コストメリットがあります。
- シンプルなシステムを構築出来るので、不注意なウエハ破損などの損害を未然に防ぎます。
- 駆動系を最小限に抑えられるので粒子コンタミ発生を抑えることが出来ます。
- クロススロットや超薄型のウエハも検出することが出来ます。
- 備考: コネクター仕様もオプション対応しています。