ウエハーセンス^® 製品紹介

半導体プロセス装置内ウエハの位置決め、レベル出し、スペーシング調整、加速度＆振動観測を行っていますでしょうか？もし実施しているのであれば、その測定に何時間費やし、どれだけの労力（時間）を費やしているのでしょうか？弊社の革新的なウエハーセンス製品はウエハライク形状とワイヤレス技術によって高精度で再現性のある測定結果を数分で提供することが出来ます。

すべての製品はウエハライク形状をしているので、実際のウエハが感じている条件を客観的にパラメータ化することが出来、誰でも簡単な配置、及び自動搬送も可能な装置もあるので、短い装置のダウンタイムにて測定を実施することが出来ます。ワイヤレスなので簡単に短い時間内に使うことが出来ます。測定器を入れることが困難な場所にも簡単にアクセスしデータを取ることが可能です。

高精度で便利なウエハーセンスがあれば、より高精度で再現性の高い結果を求めることが出来ます。ノートパソコンなどに付属のソフトをインストールすればＵＳＢポートを使ってセンサーとの交信をワイヤレスに行うことが可能で、ＬＯＧデータを取ったりリアルタイムなフィードバックが出来るようになります。リアルタイムなＬＯＧデータにより装置パラメータの標準化や比較、解析にも役立てることが可能です。この非常に効率の良い手法で装置調整の能率化を図り、長期に渡る高歩留りを得ることが出来ます。