WaferSense^® オートギャップセンサー(AGS)
ワイヤレスのギャップ測定ウエハ

プロセスライクな電気的非接触面距離測定（静電容量センサー）を採用。客観的なスペーシング測定手法が成膜の均一性と歩留り向上を実現致します。

高精度で再現性のあるワイヤレスのスペーシング測定システムが成膜の均一性と歩留り向上を実現します。

ウエハーセンス AGSには300mmと200mmのハウジングがあり、枚葉型の成膜装置(PECVD)、スパッタリングやエッチング装置に使用することが出来ます。客観的で再現性のあるギャップ測定が成膜の均一性と歩留り向上を実現します。

電気的非接触面距離測定（静電容量センサー）を採用し、リアルタイムに測定値を表示します。パソコンにおいてグラフィックに数値データも表示するので、誰でも簡単に正しい調整を行うことが出来ます。

AGS300はノベラス社製Vector装置において標準採用され、以前の方法と比較して40%の面内均一性向上を実現することの出来るギャップ調整方法を提供しています。
ノベラス社製シャワーヘッドの調整についての実例

	AGS300 ギャップウエハ(AGS300)があれば、300mmウエハのPECVD装置などのシャワーヘッド調整やサセプターのレベル出しを真空中で、再現性良く調整することが出来ます。
	AGS200 ギャップウエハ（AGS200）があれば、200mmウエハのPECVD装置などのシャワーヘッド調整やサセプターのレベル出しを真空中で、再現性良く調整することが出来ます。