ウエハーセンス^® オートギャップシステム(AGS300)
ワイヤレスのギャップ測定システム

プロセスライクな電気的非接触面距離測定（静電容量センサー）を採用。客観的なスペーシング測定手法が成膜の均一性と歩留り向上を実現致します。

高精度で再現性のあるワイヤレスのスペーシング測定システムが成膜の均一性と歩留り向上を実現します。

ウエハーセンス AGSには300mmと200mmのハウジングがあり、枚葉型の成膜装置、スパッタリングやエッチング装置に使用することが出来ます。客観的で再現性のあるギャップ測定が成膜の均一性と歩留り向上を実現します。

電気的非接触面距離測定（静電容量センサー）を採用し、リアルタイムに測定値を表示します。パソコンにおいてグラフィックに数値データも表示するので、誰でも簡単に正しい調整を行うことが出来ます。

ウエハーセンスAGS300の写真館

特徴

• 3点におけるギャップ（スペーシング）距離を測定します。しきい値を完璧な並行にすることも、傾斜させたレベルにすることも任意に設定することが可能で、３つの静電容量センサーが面と面との距離を数値データとグラフィカルな表示で表現します。
• 300 mm ウエハライクなハウジング
• 現地校正が可能で、精度は校正から4時間以内において±25ミクロン
• 測定分解能± 5 ミクロン
• 20度から70度の温度にて使用することが可能（監視温度計を内蔵していて温度変化に対応した補正計算を自動的に実施）
• ワイヤレスなので真空装置の密閉性を損なわずに測定することが可能。
• ソフトウエアGapView™ が測定した数値データとグラフィック表示を表現。色表示によるOK/NG判断を行い、わかりやすく使いやすいインターフェイスです。
• ソフトウエアGapViewにより測定値をEXCELにて読み込めるCSVファイルフォーマットにLOGすることが出来ます。