WaferSense®
オート水準測定システム (ALS)
ワイヤレス水準測定システム
普通の水準器で時間を無駄にしていませんか？このワイヤレスのレベル測定ウエハがあれば信頼性のある測定と短時間の調整時間を提供します。
WaferSense ALS2は半導体プロセス装置の中にて搬送されXとY方向の傾斜測定を行うツールです。ウエハライクで自動搬送に直接使える薄型設計なので、装置のセットアップとメンテナンスをリアルタイムにフィードバックさせて高精度に、能率的に行うことが出来ます。そのデータはLOGしていくことが可能なので装置の最適調整を標準化していくことも可能です。
そのデータはLOGしていくことが可能なので装置の最適調整を、工場内にて標準化していくことも可能です。再現性ある傾斜データと、面内均一性を相関させて改善に成功したという事例もあります。
Photo Gallery of WaferSense ALS
特徴
- 150 mm ウエハライク形状
- カセット、ロードロック、プロセスチャンバー、ロボットハンド、アライナーなどに載せて使うことが出来ます。
- ワイヤレスにノートパソコンやパソコンに傾斜データを送ります。
- ＸとＹ方向の傾斜を同時に測定します。（測定範囲±4度）
- 最適な温度環境下にて、測定精度±0.03度
- 参照面を相対的に基準とする、相対モード付き
- 分解能±0.002度
- LevelViewのGUIにより、傾斜データをワイヤレスに把握できるので、リアルタイムに調整した結果をフィードバックし調整を能率的に行って、装置復帰を短時間に行うことが出来ます。
- 真空互換性がある（10-6 Torr）ので、チャンバーを開けずに内部の水準を見ることが可能です。