ウエハーセンス^® ALS2

ウエハーセンスの使いやすいGUIを体験してください

ワイヤレスでウエハーライク形状のレベル測定ウエハがあれば、いままで出来なかった高精度でスピィーディな調整が可能になります。

ウエハーセンス ALS2は半導体プロセス装置の中にて搬送されXとY方向の傾斜測定を行うツールです。ウエハライクで自動搬送に直接使える薄型設計なので、装置のセットアップとメンテナンスをリアルタイムにフィードバックさせて高精度に、能率的に行うことが出来ます。そのデータはLOGしていくことが可能なので装置の最適調整を標準化していくことも可能です。

ウエハーセンス ALS2の写真館

特徴

• 200 mm はノッチ形状またはオリフラ、または300 mmのウエハライク形状にて装置の最適化セットアップを行います。
• 客観的で再現性のある手法で測定されたデータ（マニュアルまたはオート可能）により調整のバラツキを減らし、プロセスの均一性を向上させることが出来ます。
• LevelViewのGUIにより、傾斜データをワイヤレスに把握できるので、リアルタイムに調整した結果をフィードバック出来るし、装置調整を能率的に行って、生産への復帰を速やかに行うことが出来ます。
• 装置改善による歩留り向上を助ける強力ツールです。