ウエハーセンス^® ALS2 垂直測定オプション

ウエハーセンスの使いやすいGUIを体験してください

ウエハーセンス ALS2 垂直測定オプションはALSファミリ―に加わった新しい製品です。ALS2 垂直測定オプションはワイヤレスでウエハライク形状の水準器で水平だけでなく、垂直にウエハが立った状態においての傾斜を測定することが出来ます。

詳細はサイバーオプティクスセミコンダクター社にお問い合わせください（日本語可能）　CSsales@cyberoptics.com.

ウエハーセンス ALS2の写真館

特徴

• ウエハライク形状による測定を使って装置セットアップを行えます。
• 客観的で再現性のある傾斜データにより調整のバラツキを抑え、プロセスの均一性を向上させます。
• ワイヤレスなので、装置メンテナンス時間を短縮出来ます。
• 最適化された調整によりパーティクル発生を抑え、歩留まりを向上させることが可能です。