ウエハーセンス^® オートレベルセンサー(ALS)
ワイヤレスの水準器ウエハ

ウエハーセンスの使いやすいGUIを体験してください

普通の水準器で時間を無駄にしていませんか？このワイヤレスのレベル測定ウエハがあれば信頼性のある測定と短時間の調整時間を提供します。

ウエハーセンス ALS2は半導体プロセス装置の中にて搬送されXとY方向の傾斜測定を行うツールです。ウエハライクで自動搬送に直接使える薄型設計なので、装置のセットアップとメンテナンスをリアルタイムにフィードバックさせて高精度に、能率的に行うことが出来ます。チャンバーを開けずに、大気開放せずに内部の水準レベルをリアルタイムに見れるので、４分の１以下の時間で調整が可能と言われています。

そのデータはLOGしていくことが可能なので装置の最適調整を、工場内にて標準化していくことも可能です。再現性ある傾斜データと、面内均一性を相関させて改善に成功したという事例もあります。

	ALS 薄型で軽量、WaferSense ALSは同時に、Ｘ、Ｙの傾斜を表示します。迅速に再現性良く装置のセットアップを行うことが出来ます。
	ALS2 ALSよりも薄型に設計（厚み6.3mm）。このレベル測定ウエハであれば多くのステーションに自動搬送させることが可能です。
	ALSR WaferSense ALSR はレチクルマスク－ライク形状で、便利にレチクルマスク装置に使うことが出来ます。
	ALS2 垂直オプション ALS2の垂直オプション付きであれば、イオン注入機やメッキ装置、ウェット装置のレベル出しに便利です。