ウエハーセンス^® オートレベリングセンサー(ALSR)
ワイヤレスのレチクルマスク形状水準器

レチクルを取り扱う装置の改善を行うツールです。レチクルライク形状のワイヤレス測定器が高精度な測定を能率的に行います。

ウエハーセンス ALSRはレチクルマスクのように搬送されることが出来るので、レチクルストッカーなどの搬送装置の各位置における傾斜を素早く読み取り記録していくことが出来ます。そしてレチクル搬送装置のレベルを正しいアライメントで行うことにより引っ掻き傷や粒子コンタミの発生を抑え、より高いダイの良品率とより長いレチクル寿命を実現致します。

ALSRによる高精度で再現性のある測定があれば能率的なレベル確認と調整、そして装置の復帰を今までよりも確実に素早く行うことが出来ます。

ウエハーセンス ALSRの写真館

特徴

• 152.4 mm x 152.4 mm x 9 mmのレチクルマスクライク形状
• ワイヤレスに測定データをノートパソコンなどに送信します。
• XとYの2方向（PitchとRoll）の測定を同時に絶対水準から±4度の測定範囲にて行います。
• 参照面を基準面として登録し、そこからの傾斜を測定する相対モードが付いています。
• 最適温度以下において±0.03度の測定精度
• LevelView™ ソフトによりリアルタイムな数値データを画像データを簡単に使うことが出来るので、より高精度な調整を能率的に行えます。