WaferSense^® エアボーンパーティクルセンサ(APS)

APSは2009年の第2四半期には販売可能になります。より多くの情報をご要望であれば、弊社にお問い合わせください！

APSは半導体プロセス装置や自動搬送設備の中を搬送されて移動しながらエアボーンのパーティクルをカウントすることが出来ます。ウエハライク形状であり、ワイヤレスでリアルタイムのデータを供給することが出来るので迅速な装置の検証や生産への復帰を実現出来ます。パーティクルのデータはパソコンに保存することが出来、時系列的な比較、装置間の比較、メンテナンス間の比較に役立てることが出来るので、メンテナンス手順の改善や歩留り向上のプロジェクトに役立てることが出来ます。

ワイヤレスの測定器なので迅速な装置の検証を行えます。 APSウエハと付属のソフトウエアParticleView™ を使って調整の効果をリアルタイムにパーティクルのデータによってフィードバックすれば、装置の検証やセットアップを効率よく行うことが出来ます。APSを装置検証中に使えば、コンタミ源の発生場所を迅速に見つけることが出来ます。

ウエハライク形状なので、装置のサイクルタイムを短縮させることが出来ます。 APSはクリーン性が高く、真空互換性があるので、装置を大気に露出する必要がありません。装置を開けずに、リアルタイムにパーティクルを検出出来るのです。APSウエハはパーティクルを検出する為に窒素やアルゴンなどの不活性ガスによる気圧を少量必要とします。 一度パーティクル発生の場所を突き止めれば、装置のパーティクルパラメータを求めることも簡単に出来ます。

客観性があり再現性のあるパーティクルデータなのでメンテナンス経費を削減出来ます APSパーティクルウエハを使えば基準値を設定することが出来ます。APSウエハを以前の方式で使うダミーウエハと同じように繰り返し搬送させて規定以内に入るかどうかを確認するのです。出来るだけ早く装置の欠陥を警告することにより、予防メンテナンスのプランを最適化することが可能です。

Features

• ウエハライク形状200 mm, 300 mm、 450mm(特注)
• ウエハのようにハンドリング出来て、ウエハのように配置出来ます。
• ワイヤレスにパーティクルデータをノートパソコンなどに送ります。
• 暫定仕様：パーティクルサイズ 0.1 um以上 、サイズ別のビン分け（種類分け）も行います。
• 暫定仕様：使用出来る気圧　 1トールから760トールまで。
• 暫定仕様：使用出来る温度　20°C から 30°C.
• 暫定仕様：電池使用時間 2時間以上
• ソフトウエアParticleView™ がリアルタイムのユーザーインターフェイスとLOGデータ作成を提供します。
• ソフトウエアParticleReview™ がＬＯＧされたデータ参照、リプレイと解析を提供します。