ウエハーセンス^® エアボーンパーティクルセンサー(APS)

気中パーティクルカウンターウエハAPS

APSは半導体プロセス装置内にて搬送され、装置内部の気中パーティクルをモニタリングするシステムです。ウエハライク形状でありワイヤレスなのでリアルタイムに測定結果をフィードバックして調整時間を短縮し、装置停止時間を短縮させます。パーティクルのデータを保存することが出来るので、装置別、時間別、条件別のデータを比較したり、関連性を持たせたりすることでメンテナンス手順を最適化させたり製品の歩留まり向上に役立てることが出来ます。

ワイヤレス測定により装置の検証時間を短縮 APSウエハとParticleView™ ソフトによりリアルタイムに調整の効果をモニタリングすることが出来ますので、装置の調整と検証にかかる時間を短縮することが出来ます。APSを使った検証により、コンタミ発生の場所やタイミングを確実に把握することが出来ます。

ウエハライク形状により装置のメンテナンス時間を短縮 APSはクリーン度が高く真空互換性があるので、プロセスチャンバを大気にさらす必要がありません。装置を開けずにパーティクルを検出することが出来ます。このデバイスを使うにはある程度のガス（窒素やアルゴン）を供給する必要性があります。パーティクル発生の場所とタイミングがわかれば、装置側の条件を最適化しやすくなります。

客観的で再現性の高いパーティクルデータにより、メンテナンスにかかるコストを削減します。APS ウエハにより基準値を決めることにより調整の個人差を減らせます。APSウエハをダミーウエハのように装置稼働の基準として使えば、予防メンテナンスを効果的に行い、装置運用を効率よく行うことが出来ます。