ウエハーセンス^® オートティーチングセンサー(ATS)
ワイヤレスのカメラウエハ

半導体装置の性能を最大限に活かせる！　ATSは装置内をカメラで覗いて、精度よく簡単にウエハの位置決めを行うツールです。

ワイヤレスでウエハライク形状なので、ウエハーセンス ATSは半導体装置の中に入れて、本当のウエハと同じように配置されて、ウエハの位置座標データ（XYZ）を高精度位置決めの為に測定します。

真空互換性があるので、ATSは密閉された装置内においての測定を実現します。検証に用いる時間やクリーニングが必要な消耗品の費用を削減出来ます。この画像処理ティーチングツールがあれば、装置内モニタリングも出来ます。

ウエハーセンス ATSの写真館

特徴

• 200 mm または 300 mm ウエハライク形状
• 搭載されたカメラが装置内部の画像を取り込み観察が可能.
• 搭載された画像処理プロセッサーが目標物からウエハまでの座標値（XYZ）を計算して搬送系のティーチングに応用することが出来ます。
• XY方向は精度±0.1 mm、Z方向は±0.5 mm
• カメラウエハは120度の空間に5分以内耐えることが出来ます（熱源に直接触れない）。ですから装置をクールダウンしないで測定を行うことが出来ます。
• 真空互換性があるので、密封された装置内において使用することが出来るので、能率的に作業が出来ます。
• ソフトウエアTeachView™ はリアルタイムなビデオ画像と設定したターゲットからの座標値、LOGボタンやコメントなどを表示します。
• ソフトウエアTeachTarget™ により目標物である円形のターゲットを設定出来ます。