WaferSense^® オートバイブレーションシステム(AVS)

WaferSense AVSがあれば半導体プロセス装置の中を自動搬送させて3軸の加速度と振動を測定することが出来ます。自動搬送が可能となるようなウエハライクであり、ワイヤレス通信なので装置のセットアップやメンテナンスを能率的に行えるようリアルタイムなデータを供給します。振動データは後に比較検討が出来るよう保存することが出来、装置間の比較や時系列的な比較を行うことによって粒子コンタミの発生を抑えるのに役立ちます。

Features

• 加速度と振動のデータを調整のフィードバックとしてリアルタイムに観察出来るので能率的な校正と調整が可能になります。
• SEMI 200 mmのVノッチまたはオリフラ、または300 mmのウエハライク形状
• 3方向の加速度と平均値を表示するので、スピーディに客観的な測定を行えます。
• 測定範囲 ±2G
• 測定分解能 ±0.01G.
• 周波数特性 0 から 200 Hzまで, -3dB
• 使用温度は20°C から 70°Cまで
• ワイヤレス技術を採用しているので、摩耗したり、アライメントをずらす要因となりうるケーブルがありません。
• VibeView™ アプリケーションソフトによりグラフィックなデータによるリアルタイムフィードバックを実現し、LOGファイルも記録出来ます。
• VibeReview™ アプリケーションソフトによる記録されたデータの参照や解析の実施。