ウエハーセンス®
オートレベリングシステム (ALS)
ワイヤレスの水準測定ウエハ
泡の水準器を使って時間を無駄にしていませんか？弊社のオートレベリングセンサー（ワイヤレスの水準測定ウエハ）があれば調整時間の短縮とより高精度の調整を実現出来ます。
このALSがあれば今まで手の届かなかった半導体プロセス装置内の様々な場所にてウエハの傾斜を簡単に測定することが出来ます。今までの方法のように真空チャンバーのカバーを外して真空を大気に変えたりする必要がありませんので80%以上の時間節約を実現することが出来るのです。
より高精度で時間を節約した「可視化」の出来る検査を行うことによりALSは調整時間そのものを短縮する（リアルタイム測定により）だけでなく、予防メンテナンスををより確度の高いものにすることが出来ます。標準ソフトウエアを使った数値データＬＯＧ機能により半導体製造における歩留り向上にも役立てることが可能です。
ウエハーセンス ALSの写真館
特徴
- 200 mm (ノッチまたはフラット) または 300 mm のウエハライク形状
- フープやカセット、ロードロック、プロセスチャンバー、ロボットハンド、アライナーに乗せて使うことが出来ます。
- 傾斜の測定値をワイヤレスにノートパソコンなどにリアルタイムに送付します。
- XとYの方向の2種類の傾斜（PitchとRoll）を±4度の測定範囲にて行います。
- 最適温度において0.03度の精度を持ちます。
- 参照面を登録し、その面からの傾斜角度を測定出来ます。
- 最小検出値は0.05mm（0.002インチ）
- LevelView™ ソフトウエアにより、リアルタイム性のある傾斜の数値データと画像データを同時に見ることが出来るので、簡単で高精度な調整を 行うことが出来ます。
- 真空互換性（10-6 トールまで）があるので、プロセスチャンバーを大気に開放せずに傾斜測定を行うことが出来ます。