ウエハーセンス® プロセス別の事例
フォトリソのトラック装置
エッチング装置
CMP装置
拡散装置
成膜装置
イオン注入装置
メタルメッキ装置
検査装置
FAB工場内搬送系
レチクル製造装置
先進の65nm及び45nmの工程、そしてさらなる32nmや22nmのノードと共に、装置とプロセスの再現性を管理することは今までになかったほど、厳しく要求されるようになってきました。
それらの要求を満たすため、サイバーオプティクスセミコンダクター社は、ウエハーセンス™, ワイヤレス技術をベースにしたウエハ工場内における製造装置のメンテナンスを行うツールを開発してきました。
ワイヤレスに高精度測定を行うツールによりウエハ工場が今まで行うことの出来なかったパラメータの管理が可能になり、そして新しい開発を生みだす重要性を継続して得ることが出来ます。ウエハーセンスはウエハー工場が装置の状態やプロセスにおいて先進技術に求める厳しい要望仕様を再現させることが出来るツールです。ロボット制御をプロセスパラメータと同様に管理して、さらなる歩留まりの工場と稼働率の向上を得ることが出来ます。
ウエハのスクラップやメンテナンスによるダウンタイムのコストにより100nm以上のノード技術ではありえなかった他の問題が出てきて、装置やプロセスはさらに厳しい要求にこたえる必要があります。ウエハ工場のプロセス技術者と装置技術者は精度良く、ワイヤレスに、リアルタイムに調整、管理を行える新しい方法を必要としています。各プロセスの絵をクリックしてみてください。
フォトリソ工程のトラック装置
ALS－レベルウエハ はコータデベロッパのトラック装置において、ロードポートや、ロボット、ブレード、エンドイフェクタ、スピンカップ、リフトピンのレベル出しに使われています。 この製品ページへ
ALSR－レベルレチクル はレチクルストッカーのレベル出しに使われています。 この製品ページへ
ATS－カメラウエハ uses in こーたデベロッパのトラック装置に存在する複数のステーションとロボットを迅速に正確に調整することが出来るツールです。 この製品ページへ
AGS－ギャップウエハ ＡＧＳウエハを逆さまにしてカセットに挿入しておき、ロボットのブレードにダミーウエハを持たせて、フープカセットのレベル出しに使うことが出来ます。 この製品ページへ
エッチング装置
ALS－レベルウエハ 枝葉型エッチング装置の電極、リフトピン、ロボット、ロードロック、カセットのレベル出しに使われています。 この製品ページへ
AGS－ギャップウエハ エッチングチャンバーにおいて、真空中にて電極の平行性を調整する為に使われています。この製品ページへ
ATS－カメラウエハ 枝葉型エッチング装置において電極のセンターにウエハの位置を正確に合わせてプロセスの均一性を高める為に、ロボットティーチングに使われています。 この製品ページへ
CMP装置
ALS－レベルウエハ ＣＭＰ装置の複数のステーションとロボットにおける受け渡し時のアオリ角度を減らしてトラブルを減らす為に使われています。 この製品ページへ
AGS－ギャップウエハ ＣＭＰにおける事例は報告されていません。しかしアプリケーションとしてPLATENの平行性を出すのに使われる可能性があります。 この製品ページへ
ATS－カメラウエハ ウエハ搬送のロボットティーチングに使うことが出来ます。 この製品ページへ
拡散装置
ALS－レベルウエハ 拡散工程やLPCVDの縦型ボートのレベル出しに使われています。ALSなら回転させ、昇降させながら角度を調整できるので、ボートの首振りを抑えることが出来ます。 この製品ページへ
AGS－ギャップウエハ ＡＧＳウエハを逆さまにしてカセットに挿入しておき、ロボットのブレードにダミーウエハを持たせて、フープカセットのレベル出しに使うことが出来ます。 この製品ページへ
ATS－カメラウエハ 拡散装置におけるロボット搬送のティーチングに使用することが出来ます。正確なティーチングによりパーティクル発生を抑え、ウエハの破損を付せずことも出来ます。この製品ページへ
成膜装置
ALS－レベルウエハ スパッタリングにおけるエンドイフェクターと電極のレベル出しは、精度の高い位置決めを行う為にも必要と言われています。レベルウエハであれば枝葉型成膜装置のレベルをバランスよく調整することが出来ます。またリフトピンの傾斜角度を簡単に管理出来ます。 この製品ページへ
AGS－ギャップウエハ PECVDの装置において電極とヒータの平行性を真空中で保つことは成膜の面内均一性を保つために必要と言われています。AGSウエハなら電極に非接触に高精度に測定出来るので、非常に高い再現性を求めることが出来、面内均一性のデータとの相関に使うことが出来ます。 この製品ページへ
ATS－カメラウエハ スパッタリング装置において高精度にウエハを位置決めすることは、面内均一性を高める為に必要と言われています。ＡＴＳウエハなら真空中に搬送させ、短時間に高精度にロボットのティーチングを行うことが出来ます。 この製品ページへ
イオン注入装置
ALS－ウエハ イオン注入機においてはウエハを真空中で立てて搬送する必要があり、トラブルが発生しやすいと言われています。ALS2Vウエハを使えば、ウエハを立てた状態での受け渡し角度変化を簡単に測定出来、最適なレベル調整を行うことが出来ます。 この製品ページへ
AGS－ギャップウエハ ＡＧＳウエハを逆さまにしてカセットに挿入しておき、ロボットのブレードにダミーウエハを持たせて、フープカセットのレベル出しに使うことが出来ます。 この製品ページへ
ATS－カメラウエハ 真空中においてロボットのティーチングに使えます。 この製品ページへ
メタルメッキ装置
ALS－レベルウエハ 銅メッキなどの装置においてプロセスを行うセルチャンバーの角度を正確に調整し、管理することが出来ます。成膜の面内均一性がその角度に関連していると言われ、歩留まりの向上に役立ちます。 この製品ページへ
AGS－ギャップウエハ ＡＧＳウエハを逆さまにしてカセットに挿入しておき、ロボットのブレードにダミーウエハを持たせて、フープカセットのレベル出しに使うことが出来ます。 この製品ページへ
ATS－カメラウエハ 複数あるステーションのティーチングを短時間に行えます。 この製品ページへ
検査装置
ALS－レベルウエハ メトロロジー装置のロードポート、ロボット、エンドイフェクタ、検査ステージのレベル出しに使えます。 この製品ページへ
AGS－ギャップウエハ ＡＧＳウエハを逆さまにしてカセットに挿入しておき、ロボットのブレードにダミーウエハを持たせて、フープカセットのレベル出しに使うことが出来ます。 この製品ページへ
ATS－カメラウエハ ロボットのティーチングに使えます。 この製品ページへ