事例集と質問FAQ と技術的説明
半導体装置の調整方法は常に進化し続けています。
半導体関連装置は複雑で常に進化し続けています。サイバーオプティクスセミコンダクター社は半導体製造装置における様々な重要な情報を把握し、一歩進んだ高精度測定を提供出来るよう努力を続けてまいります。
御社のプロセス装置に関する事、及び弊社の製品についての技術的質問があれば、是非 技術サポートにお問い合わせください。
関連リンク集
半導体業界における卓越した情報を提供しているリンクをまとめました。
最近の技術情報の記事
リアルタイムの振動モニタリングが200mm装置の生産性を向上させる－英語, 2008年３月. 200mmのウエハ工場においては生産装置の生産性を向上させることが課題となっています。いくつかのデバイスは300mmに移行することが出来ないことは事実なので、200mm工場における装置を最適なレベルで稼働させ、ハンドリングにおけるウエハのスクラップを削減して最大の歩留まりを求める必要性があります。最近ではウエハが感じる振動と加速度をモニタリングして、より有効なフィードバック調整をし装置のダウンタイムを削減して歩留まりを向上させようとする動きがみられます。 詳細はここをクリック－英語PDF
ナノテクノロジー時代におけるウエハ製造の改善について, 2007年11月
サイバーオプティクスセミコンダクター社のデニスボンシオリーニ氏（CTO、Chief Technology Officer）からウエハ製造工程におけるプロセスをよりよく管理する事、及び今までの方法の非効率性に対する改善手法について述べています。
ウエハーセンス® 事例集
ワイヤレスのウエハーセンス® 製品を使って、どれだけ投資効果を上げられるかをします事例を集めました。
White Papers & Case Studies
CyberOptics Semiconductor offers downloadable white papers that focus on some of the most significant topics in the semiconductor industry. Subjects include wafer mapping and automatic alignment.
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よくある質問集FAQ
サイバーオプティクスセミコンダクター社はウエハーセンスと反射型マッピングセンサに関して、一般的によくある質問と回答集を以下にまとめました。