事例集 アプリケーションノート
ウエハーセンス® の事例集（アプリケーションノート）
ワイヤレスのウエハーセンス製品をプロセス装置に使った場合の投資効果をご存じでしょうか？以下の事例集を参考に、ウエハーセンス製品を使った場合の投資効果を想定してみるのはいかがでしょうか？
- ウエハーセンス AGS: 再現性確認を伴ったギャップ調整
- ウエハーセンス ATS: 東京エレクトロン製トラック（ACT8)のロボットティーチング
- ウエハーセンス ATS: アプライドマテリアルズ製EnduraとCenturaのロボットティーチング
- ウエハーセンス AGS: アプライドマテリアルズ製Precision 5000のサセプターレベル調整
- ウエハーセンス AGS: アプライドマテリアルズ製Producer ヒータ＆サセプターレベル調整
ノベラス製ベクター装置のシャワーヘッドプレート調整