マッピングセンサー EX-Q と EX-QS の質問FAQ
CyberOptics Semiconductor社はウエハマッピングセンサーに関する一般的な質問に対する回答を以下に提供致します。
弊社は製品に関する質問と回答を常に継続して追加、更新していきます。もしこれらのFAQの中にあなたの質問や回答がない場合は是非ご連絡ください。 カスタマーサポートにメールする
センサーのパフォーマンス
- 以前の製品（濱センサを含む）に比べて何が改良されたのでしょうか？
- とにかくエラーの出ないウエハー検出を行いたい。そのパフォーマンスを得る為には、透過型のマッピングセンサーに改造するしか方法はないのでしょうか？
- 透過型センサーと比べてどのようなメリットがあるのでしょうか？
生産中止の製品について (DRM, DD, WX 及び ZX センサー)
- 私は昔のハマセンサを使っています。古いタイプの製品にもサイバーオプティクスセミコンダクター社は対応しているのでしょうか？
- 古いタイプのハマセンサ（DRM,DD,WXなど）は、まだ装置の部品として使っていけるのでしょうか？
- 現在古いタイプのDRM,DD,WXを塚tt絵いますが、まだ製造しているのでしょうか？
- DDやWX等といった古いタイプのハマセンサからEX-Qタイプのマッピングセンサーへアップグレードを行うことは可能でしょうか？
安全性
- レーザー技術を使っているEX-Qセンサーは安全でしょうか？また装置内で使う上での注意点を教えてください。
- サイバーオプティクスセミコンダクター社は反射型マッピングセンサーの安全性標準であるFDAやCDRHに対応しているのでしょうか？
使用事例と使用方法
- 異なるタイプのウエハをマッピングするにはどのような設定が必要となるのでしょうか？
- EX-Qは異なるサイズのウエハにも対応出来ますか？
- EX-Qは1種類のスキャン距離と角度に制限されますか？
- サイバーオプティクスセミコンダクター社が提供しているアライメントカードを使って調整しているのですが、以前よりも問題が多発しています。何が原因で、どう対応したらいいのでしょうか？
センサーのパフォーマンスについて
以前の製品（ハマセンサを含む）に比べて何が改良されたのでしょうか？
- EX-Qのレーザー光線の厚みが0.05mmまで薄くなりました。この改良によりより実ウエハに近い厚みの検出が可能となり、ウエハの端部が持つ特性（コーティング、経常や厚みなど）に影響されずに透過型のセンサーと同等レベルのパフォーマンスを提供することが出来るようになりました。
- FOUP背部からの乱反射によるノイズから避けるため、出力レーザー光と入力フォトディテクター部に3度の光学的傾斜を持たせています。この改良により反射ノイズによる影響が著しく減少致しました。
とにかくエラーの出ないウエハ検出を行いたい。そのパフォーマンスを得る為には透過型のマッピングセンサーに改造するしか方法はないのでしょうか？
いいえ。このEX-Qウエハマッピングセンサーであれば精度のいい安定したパフォーマンスをウエハの持つ特性に依存せず、またGAIN設定に頼らないで実現出来ます。EX-Qは新しい光学的設計を施していてレーザー光線の厚みが薄くなっています。結果として透過型と比較しても遜色のない実ウエハに近い厚みの高精度で安定した検出を可能にしています。実ウエハに近い検出がなぜ重要なのかをより詳しく知りたい方は、弊社の カスタマーサポート にお問い合わせください。
透過型と比べてどのようなメリットがあるのでしょうか？
EX-Qセンサーは透過型と同様なレベルの安定した検出をGAIN調整なしに実現出来ます。EX-Qは透過型センサーにおいては光の特製で隠れてしまい未検出となってしまうタイプのウエハでも検出することが出来ます。EX-Qはフレキシブル性を持っているのでウエハ側に近づかなくても、遠距離からマッピング出来るメリットを持っています。このセンサーは粒子コンタミを発生する駆動系を最小限に抑えることが可能です。EX-Qであれば素早く簡単に改良することが出来るので透過型マッピングセンサーには必要とされる時間のかかるメンテナンスが必要ありません。EX-Qであれば、既存のシステムをオーバーホールしなくても様々なウエハサイズと反射率のウエハに対応することが出来るフレキシブリティ性を持っています。多少の検出軸から外したoff-axisスキャンも可能です。
生産中止品について (DRM, DD, WX や ZX センサー)
私は昔の濱センサを使っています。古いタイプの製品にもサイバーオプティクスセミコンd化歌―社は対応しているのでしょうか？
はい。サイバーオプティクス社は1999年にHAMA Laboratories社を買収し、2002年にはサイバーオプティクスセミコンダクター社が公式に設立されました。サイバーオプティクスセミコンダクター社は引き続きウエハマッピングセンサー事業を継続しEX-Qセンサーを含めて古いハマセンサーに対してもサポートを行っていきます。サポートに関しては弊社の カスタマーサポート にお問い合わせください。
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古いタイプのハマセンサ（DRM,DD,WXなど）は、まだ装置の部品として使って行けるのでしょうか？
センサの機能的な見方からすると、古いタイプのハマセンサは数年に渡って使用することが出来ます。多くのハマセンサは1990年代に製造され今日の製造に使われています。センサーの性能面からの見方をすればこれらの古いセンサーは、最近一般的に増えている暗いコーティングのウエハや薄いウエハを検出するように設計されていません。プロセス装置に暗いコーティングや薄いタイプのウエハが使用されていくにつれ、古いセンサーはEX-Qにアップグレードされていく必要が出てきます。EX-Qウエハマッピングセンサーであれば暗いコーティング、薄いウエハであっても十分に使っていくことが可能です。
現在、古いタイプのDRM.DD.WXを使っていますが、まだ正ぞうしているのでしょうか？
DRM, DD と ZXセンサーはより優れたEX-Qに取って代わり、既に製造中止となっています。製造現場におけるEX-Qへのアップグレードは簡単なので少しの調整しか必要と致しません。古いタイプのハマセンサからのアップグレードに関する質問は弊社のカスタマーサポートにお問い合わせください。
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DDやWXなどといった古いタイプのハマセンサからEX-Qタイプのマッピングセンサにアップグレードを行うことは可能なのでしょうか？
古いハマセンサからEX-Qセンサーシリーズへのアップグレードは簡単です。EX-QはDDやWXなどと同じ機械的構造をしていて、電気的にも汎用性を持っています。ひとつだけ必要な調整はロボットの再ティーチングです。古いタイプのハマセンサからのアップグレードに関する質問は弊社のカスタマーサポートにお問い合わせください。
安全性
レーザー技術を使っているEX-Qセンサーは安全でしょうか？また装置内で使う上での注意点を教えてください。
EX-Qセンサーはクラス１のレーザー製品となっています。サイバーオプティクスセミコンダクター社で製造しているすべてのセンサーは現在クラス１となっています。クラス１はCDRH規格において一番低い出力のクラスです。クラス１のレーザーデバイスは未だ規制の必要なデバイスです。しかしその規制はレーベルについてや資料、報告の要求に関することが殆どです。
クラス１のデバイスを使う上での実質的な規制というのは存在しません。デバイスに正しくレーベルがなされていて、資料化、CDRHへの報告がされていれば特別な使用上の注意（安全ゴーグル、遮蔽窓、特別なトレーニング、使用上の注意、インターロックやキーロック）は必要とされていません。レーザー光への露出時間なども、継続露出が可能である十分に低い出力のパワーなので問題とされていません。
レーベル、資料や報告書の要望に関してはCDRHのホームページに記載されています。
サイバーオプティクスセミコンダクター社にて現在製造されているセンサーは全てクラス１（国際/ヨーロッパ規格、IEC60825-1(2001-08))であり、SEMI S2-0200のレーザー安全要望を満たしています。
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サイバーオプティクスセミコンダクター社はウエハーマッピングセンサーの安全性標準であるFDAやCDRHに対応しているのでしょうか？
サイバーオプティクスセミコンダクター社はレーザーを取り扱うすべての必要な書類を取りそろえております。安全性やCDRH報告書などの資料が必要な方は弊社の カスタマーサポート までお問い合わせください。
使用事例と使用方法
異なるタイプのウエハをマッピングするにはどのような設定が必要となるのでしょうか？
EX-Qであれば異なったカセットやウエハの特製に合わせて特別なセットアップや調整方法を必要としません。EX-Qなら150mm、200mm、300mmのウエハに対し、軸上でも軸から外れている状態でのスキャンでも可能です。
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EX-Qは異なるサイズのウエハにも対応出来ますか？
はい。EX-Qであれば50mm、100mm、150mm、200mmおよび300mmのウエハにも信頼性あるマッピングを行うことが出来ます。
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EX-Qは1種類のスキャン距離と角度に制限されますか？
いいえ。EX-Qは4種類の焦点距離（1.5インチ（38.1mm）、2.2インチ（55.9mm）、3.0インチ（76.2mm）、4.5インチ（114.3mm））を取りそろえています。最大のウエハ検出角度はセンサーごとに異なります。詳しくは EX-Q カタログ-英語 をご参照ください。
また、FOUPやカセットの正面からマッピングすることの出来ない透過型マッピングセンサーとは異なり、EX-Qは様々な角度からのマッピングを精度よく行うことが出来ます。ウエハ検出角度については EX-Q カタログ-英語 または マニュアルー英語をご参照ください。
サイバーオプティクスセミコンダクター社が提供しているアライメントカードを使って調整しているのですが、以前よりも問題が多発しています。何が原因でどう対応したらいいのでしょうか？
それぞれのマッピングセンサーは仕様としての焦点距離とウエハ検出角度範囲を持っています。アライメントカードは半導体ウエハ製造現場においてロボットとティーチング作業に手軽に使えるツールです。これを使えば確実にマッピングセンサーの設置を行うことが出来、ウエハ検出においての最大能力を発揮出来るようになります。
しかし、アライメントカードを使ってマッピングセンサーの調整を正しく行った後に、マッピングのエラーが増加しているのであれば、これは他の問題がマッピングシステム周辺に存在しています。例えばマッピングのアルゴリズムに調整が必要であったり、もし古いマッピングセンサーを使っているのであれば新しいマッピング環境に合っていないのかもしれません。
EX-Qへのアップグレードが簡単な問題解決へのソリューションです。もしマッピングセンサーをアライメントカードで確実に調整して、かつマッピングの問題が増加しているのであれば弊社の カスタマーサポート にお問い合わせください。