ウエハーセンス® オートギャップシステム(AGS) FAQ
CyberOptics Semiconductor社はWaferSenseAGSに関する一般的な質問に対する回答を以下に提供致します。
弊社は製品に関する質問と回答を常に継続して追加、更新していきます。もしこれらのFAQの中にあなたの質問や回答がない場合はぜひご連絡ください カスタマーサポートへ.
動作原理について
製品の使い方と特徴について
メンテナンスと修理について
GapView™ ソフトウエアについて
インターフェイス、コンタミ、安全性について
動作原理について
AGSウエハはどのように動作するのでしょうか？
コンデンサの静電容量は2枚の電極間の距離に反比例します。AGSウエハはAGS上の電極と対照物であるシャワーヘッドなどを電極として、それらの距離を静電容量を使って測定します。AGSウエハ内のプロセッサがリアルタイムに測定した静電容量のデータや温度データを補正値テーブルを用いて変換し距離データとして計算しているのです。
HAGSウエハはどのように平行性を測定するのでしょうか？
2つの面が並行であれば、距離間隔は均一になります。AGSウエハは3つのセンサーを持っているので、それらの値が同じであれば、または設定した、しきい値以内に入っていれば面と面は平行であると言えます。
製品の使い方と特徴について
AGSウエハの測定距離の範囲は？
AGSウエハは9mmから20mm（350milから790mil）の距離を測るように設計されています。
AGSウエハの測定精度は？
AGSウエハの平行性の測定精度は±0.025mm（±0.001インチ）であり、現地で校正した4時間以内においては測定精度が±0.025mm（測定距離15mmの場合）となります。
AGSウエハの動作可能な温度範囲は？
AGSウエハは20℃から70℃の間で使用出来ます。
AGSウエハの真空互換性は？
真空でも使用可能です。AGSウエハは大気圧から高真空下でも使用出来るように設計されています。
WAGSウエハはどのタイプのチャンバーで使うことが出来ますか？
AGSウエハは上部のプレートが導電物である半導体プロセス装置で使えるように設計されています。例えば ：
- アプライドマテリアルズ製 Producer PECVD
- ノベラス システムズ製 Vector
AGSはその他のチャンバーでも使用可能です。詳細は弊社の カスタマーサポート へお問い合わせください。
メンテナンスと修理について
AGSウエハは定期的に校正やサービスを受ける必要がありますか？
あります。ウエハ工場におけるその他の測定器と同じようにAGSウエハは仕様範囲で継続して使用出来るように定期的な校正サービスを必要と致します。弊社は12か月おきに校正と電池交換、校正証明書の再発行を行うことを推奨しています。詳しくは弊社のカスタマーサポートにお問い合わせください。
使用現場での精度確認方法はありますか？
あります。オプションであるAGS15という校正用フィクスチャを使用したり、またはその他のギャップ距離が正確にわかっている校正治具を使えば現地での精度確認およびオフセット校正も可能です。しかし変化する温度に対応した校正は現地ではできませんので、弊社にAGSウエハを送付して校正を定期的に行うことを推奨致します。
AGSウエハの電池はどれくらいの寿命を持っていますか?
AGSウエハは10年の寿命を持つ充電可能な電池ｗ搭載しています。この電池は500回のディスチャージと充電を繰り返した場合に８０％の容量までに落ちる特性を持っています。80℃以上の環境下にて保管、使用を行うと電池が持つ容量が著しく低下しますのでご注意ください。また100℃を超える環境では使用しないでください。AGSのバッテリーは弊社工場における校正サービスによってのみ交換が可能であり、お客様サイトでの交換は出来ません。
GapView™ ソフトウエアについて
AGSウエハでデータをＬＯＧ保存するには？
測定値をLOG保存したい時に、"Log a Reading" のボタンを押せば簡単にLOG保存出来ます。保存したデータはCSVフォーマットで保存されます。
インターフェイス、コンタミ及び安全性について
AGSウエハのクリーン度をメンテナンスするには？
CyberOptics Semiconductor社はAGSのシステム部品をSEMI標準のクリーン環境にて組み立てています。このレベルのクリーン度を保つには半導体工場グレードのIPAを使ってクリアケースの外側と内側の部品をふき取ることを推奨致します。