ウエハーセンス®
オートレベルシステム (ALS) と
オートレベルシステムレチクル (ALSR) FAQ
CyberOptics Semiconductor社はWaferSenseALSに関する一般的な質問に対する回答を以下に提供致します。
弊社は製品に関する質問と回答を常に継続して追加、更新していきます。もしこれらのFAQの中にあなたの質問や回答がない場合はぜひご連絡ください。 カスタマーサポートへメールする
動作原理について
製品の使い方と特徴について
- ALSウエハの形状は？
- ALSウエハを校正している材質は？
- ALSウエハが測定する傾斜をどのように参照するのでしょうか？
- 2つのALSウエハを同じワイヤレスリンクで使うことが出来ますか？
- ALSウエハでロボットアームの傾斜を測定することが出来ますか？
- ALSウエハで装置内のウエハ受け渡しのステーションで使うことが出来ますか？
- ALSウエハにより他の現象（振動など）を測定することは出来ますか？
- 変化する温度に対応していますか？
- ALSウエハを真空中で使う事は出来ますか？
- HALSウエハをどのように充電するのでしょうか？
メンテナンスと修理について
LevelViewソフトウエアについて
インターフェイス、コンタミ及び安全性について
- ALSウエハは高周波（RF）を出しているのでしょうか?
- ALSを安全に取り扱うには？
- ALSウエハを高温で使用するとアウトガスを発生しますか？
- ALSウエハから粒子コンタミが発生されますか？
- ALSウエハからメタルコンタミが発生されますか？
- ALSウエハのクリーン度をメンテナンスするには？
動作原理について
ALSウエハはどのように傾斜測定を行っているのですか?
ALSウエハはXとY方向に位置された2つの電子角度計を搭載しています。それぞれの電子角度計から出力された電圧値を角度として変換して使っています。
トップへ戻る
ALSウエハの角度測定における基準面とは？
デフォルトでは、ALSウエハは重力を基準として水平面を基準面として角度を測定します（絶対水準）。ソフトウエアLevelViewにより任意の平面を基準として測定を行う（相対測定）ことが可能です。
製品の使い方と特徴について
ALSウエハの形状は？
ウエハーセンスALSの製品にはウエハライクとレチクルライクのものがあります。ウエハライクの製品は150mm（6インチ）の1種類です。レチクルライクタイプは152.4mm×152.4mmです。
トップへ戻る
ALSウエハを構成している材質は？
ウエハーセンスALSのハウジングはアルミをベースとしています。センサー部を封止しているレーベルはポリカーボンです。表面コーティングは黒アルマイト処理を施しています。
ALSウエハが測定した傾斜をどのようにして参照するのでしょうか？
傾斜データはパソコンにUSB接続されたワイヤレスリンクに無線通信にて送付されます。それぞれのALSセンサーはペアリングされブルートゥース通信技術によりパソコンと交信します。このプロトコルは2.4GHz周辺の周波数帯域を使用しています。
トップへ戻る
２つのALSウエハを同じワイヤレスリンクで使うことが出来ますか？
出来ます。ブルートゥース通信は2つのデバイス間でユニークなチャンネルを構築します。両方のALSウエハとリンクがシンクロしている間、または再シンクロしている間はワイヤレスリンクは一つのデータのみをひとつのALSウエハから受け取ります。他のブルートゥースデバイスと混信することはありません。
トップへ戻る
ALSウエハでロボットアームの傾斜を測定することが出来ますか？
出来ます。ウエハライクな形状で出来ているので、様々なロボットアームによりウエハのようにハンドリングされることが可能です。
ALSウエハを装置内のウエハ受け渡しのステーションで使うことが出来ますか？
可能です。ウエハライクの形状で出来ているのでカセットやFOUPなどのキャリアに入れたり、ロボットアーム上、アライナーなどを通して装置内をウエハのように搬送させることが出来ます。ロードロックやプロセスチャンバーでも使えるのでリアルタイムに多くの箇所で測定を調整を行うことが出来ます。
トップへ戻る
ALSウエハにより他の現象（振動など）を測定することは出来ますか？
いいえ。ALSは参照面からのXY方向の傾斜を測定するように設計されています。ALSウエハは振動を直接測定することは出来ません。しかし傾斜の変動を振動の結果として観察することは可能です。また電子傾斜センサーは加速度を測定するのに適していません。
トップへ戻る
変化する温度に対応していますか？
はい。ALSウエハは最適温度である２０℃から３０℃の間で最も高い精度を持ちますが、７０℃までの環境下においても安全に使用することが出来ます。
ALSウエハには内部温度をモニターする温度計が入っており温度変化に対する微妙な補正を常にかけています。またALSウエハが７０℃を超える環境ではALSの性能を著しく損なう可能性がありますので、ご注意ください。
トップへ戻る
ALSウエハを真空中で使う事が出来ますか？
ALSウエハは大気圧から10-6 トールの真空圧まで使用することが出来ます。
トップへ戻る
ALSウエハをどのように充電するのでしょうか？
透明なケースはALSウエハを便利に持ち運ぶためと充電電池を充電する２種類の機能を持ちます。このケース内にALSウエハを入れてしっかりと蓋を閉めます。そしてACアダプターを使って家庭用電源から電力を供給します。フル充電には２時間を要し、最初の１時間で８０％の容量を充電出来ます。
メンテナンスと修理について
ALSウエハが正しい測定をしているかどうかを確認する方法は？
ALSは工場出荷後１２ヶ月は正しい精度を保ち続けます。最後に校正を行った期日はセンサー上部のレーベルに記載されています。またLevelViewソフトウエアにおけるHelp－"About LevelView"を参照することにより校正期日の参照も可能です。
もし最後に校正をかけてから１２か月以上が経っている場合は。弊社のカスタマーサポートに連絡し、工場における校正サービスの為、送付する手続きを行うことを推奨致します。もし水平でしっかりとした台（定盤）があれば水平が出ているかどうかの確認は簡単に行えます。もしその表面の水平がでているのであればALSは０度を示すはずです。
しかし、もし手違いなどでダメージをALSウエハに与えてしまった場合は、CyberOptics Semiconductor社がご要望に合わせて測定精度の確認などを行えますので、弊社のカスタマーサポートに連絡して弊社の工場に返送しての校正サービスを受ける相談をしてください。 カスタマーサポートへメールする
トップへ戻る
校正サービスでは何を行うのでしょうか？
CyberOptics Semiconductor社はALSウエハの校正を認証設備で行い、充電電池の交換やその他の部品の修理などを必要に応じて行っています。校正サービスでは充電電池の交換、センサーの精度校正、校正証明書の発行などを行っています。もし仕様外のパフォーマンスとなっている場合には状況に合わせてその対処方法を提案させて頂きます。
トップへ戻る
ALSウエハが損傷を受けた場合の対応方法は？
ALSウエハを構成する電子部品のほとんど（電子角度センサー以外）は交換が可能です。電子角度センサーはハウジングに固定されているので取り外しが困難なので、もしダメージを受けて破損した場合にはセンサーごと交換となります。
LevelView ソフトウエアについて
ALSウエハを使って測定したデータをLOG保存するには？
LevelView ソフトウエアは傾斜データを保存するLOGにおいて２つの機能を持っています。マニュアル保存と自動LOG方法です。これらの機能はボタンとチェックＢＯＸを切り替えるだけで簡単に行うことが出来ます。自動LOGにおいては１秒から６０分間おきに実施させることが出来ます。
トップへ戻る
LOGデータの形式は？
LevelViewで保存されたデータはMicrosoft Excelで読み込めるフォーマットのCSVにて保存されます。それらのデータは傾斜に関する傾向や比較資料として活用することが可能です。
インターフェイス、コンタミ及び安全性について
ALSウエハは高周波を出しているのでしょうか？
はい。ALSウエハはノートパソコンなどとワイヤレスリンクを通してブルートゥース通信を行っています。ブルートゥース通信は2.4GHz帯の周波数を使用しています。
トップへ戻る
ALSウエハを安全に取り扱うには？
ALSウエハは他の電子精密機器と同様に取り扱うべき電子機器です。例えばALSウエハ裏面の平面部には硬いものなどで衝撃を与えないでください。
ALSウエハを高温で使用するとアウトガスを発生しますか？
いいえ。詳しくは弊社の カスタマーサポート へお問い合わせください。
トップへ戻る
ALSウエハから粒子コンタミが発生されますか？
いいえ。詳しくは弊社の カスタマーサポート へお問い合わせください。
トップへ戻る
ALSウエハからメタルコンタミが発生されますか？
いいえ。詳しくは弊社の カスタマーサポート へお問い合わせください。
トップへ戻る
ALSウエハのクリーン度をメンテナンスするには？
CyberOptics Semiconductor社はALSシステムを清潔に保つ為、ＳＥＭＩ標準の環境にて組み立てています。このレベルのクリーン度を保つためには半導体工場クラスのIPAにてクリアケースの外部、内部の部品をふき取ってください。