ウエハーセンス® オートレベルセンサー(ALS2) と オートレベルセンサー垂直オプション(ALS2V) FAQ

ALS2 and ALS2V

サイバーオプティクスセミコンダクター社はウエハーセンスALS2に関する一般的な質問に対する回答を以下に提供致します。

弊社は製品に関する質問と回答を常に継続して追加、更新していきます。もしこれらのFAQの中にあなたの質問や回答がない場合はぜひご連絡ください ここをクリック.

 

動作原理について

  1. ALS2ウエハはどのように使用されているのでしょうか？
  2. ALS2ウエハにおける相対モードとは？
  3. ALSとALS2の違いとは？
  4. ALS2Vウエハではどのようにして垂直角度を測るのでしょうか?

製品の使い方と特徴

  1. ALS2Vの水平方向と垂直方向の測定範囲と精度はどれくらいでしょうか？
  2. ALS2Vの測定分解能は？
  3. ALS2の動作温度は？
  4. ALS2Vを真空中で使えるのでしょうか？
  5. ALS2Vを閉じたチャンバー内にて使う事が出来るのでしょうか？
  6. どのような装置でALS/ALS2を使うことが出来るのでしょうか？

メンテナンスと修理

  1. ALS2とALS2Vは定期的な校正が必要なのでしょうか？
  2. ALS2/ALS2Vで使われる電池の寿命は？
  3. ALSウエハが正常な測定を行っているかどうかを調べる方法はありますか？
  4. ALSウエハがダメージを受けてしまったらどうすればいいですか？
  5. ALS2/ALS2Vを校正するサービスについて教えてください

LevelView™, LevelReview™ ソフトウエアについて

  1. LevelView と LevelReview ソフトウエアとは？
  2. ALS2とALS2VはデータをＬＯＧする機能を持っていますか?
  3. ALS2とALS2VのＬＯＧデータはエクセルなどのソフトにて読み込むことが出来ますか?

インターフェイス、コンタミ及び安全性

  1. どうやってALS2とALS2VはLevelViewソフトウエアと通信をお粉ているのでしょうか？
  2. ＦＡＢ内にてブルートゥースを使う事は安全ですか？ 
  3. ALS2とALS2Vを安全に取り扱うには？
  4. ALS2とALS2Vウエハを高温で使用するとアウトガスを発生しますか？
  5. ALS2とALS2Vウエハからパーティクルが発生しますか？
  6. ALS2とALS2Vのクリーン度をどのようにメンテナンスすればいいのでしょうか？

トラブルシューティング

  1. エラーメッセージ"FTD2XX.DLL is missing"が出てくるのですが、どうしたらいいでしょうか？
  2. ALS2ウエハがＵＳＢリンクと通信出来ないのですが？
  3. ALS2ウエハとＵＳＢリンクとの通信が頻繁に途絶えるのですが？

動作原理について

ALS2ウエハはどのように使われているのでしょうか？ 
ALS2の水平と垂直測定のウエハは、カセット、フープ、ロボットハンド、ロードロック、トランスファーピン、プロセスチャンバーなどのウエハ工場で使われている製造装置内のあらゆる場所にて使われています。

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ALS2ウエハにおける相対モードはどのようにして使うのでしょうか？

デフォルトではALS2ウエハはピッチ（Y）とロール（X）の表示を重力が作る水平面に対して計測します（absolute mode)。他の平面を参照面(referential plane)として設定し、そこからの相対角度(Relative to) もLevelViewソフトウエアの中にて行う事が出来ます。

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ALSとALS2ウエハの違いは何でしょうか？ 
新型レベルウエハのALS2とALS2Vは、旧型のALSと比較して多くのメリットを持ちます。

ALS2Vの改善点 ALS2 Benefit
厚み6.3mm より多くの場所にアクセスすることが出来るようになりました。
新しいカーボンファイバー製のハウジング 薄くて、クリーン度が高く、頑丈です。様々なチャックに耐えられます。
垂直測定機能付き バッチタイプの洗浄機やイオン注入機に使えます。
より幅広い測定範囲 どうメッキ装置などの傾斜角度を幅広い測定範囲にてカバーします。
バージョンアップされたソフトLevelView 2.0 より簡単なＧＵＩ、フレンドリーになりました。
傾斜方向や最大の傾斜高さを表示することが出来ます。 より簡単な出力値を表示出来ます。

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ALS2Vウエハはどのように水平と垂直角度を測るのですか？ 
ALS2Vウエハは3つのMEMSデバイスによりXYZ方向の傾斜を測定しています。

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製品の使い方と特徴について

ALS2Vウエハの水平と垂直の測定範囲と精度はどれくらいでしょうか？ 
ALS2ウエハの水平方向の測定精度は+/-0.03度であり、測定範囲は+/-7.0度です。ALS2Vウエハの垂直方向の測定精度は+/-0.05度であり、測定範囲は+/-50.0度です。

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ALS2とALSVウエハの測定分解能は？
ALS2とALS2Vウエハの水平方向の測定分解能は+/-0.002度であり、測定範囲+/-14.0度内となります。ALS2Vウエハ垂直の測定分解能は+/-0.01度であり、測定範囲+/-50.0度内となります。

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ALS2とALSVウエハの動作温度環境は？

ALS2とALS2Vウエハは20ºC から 70ºCの環境にて精度良く測定出来ます。

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ALS2とALS2Vウエハを真空中で使う事が出来ますか？
はい出来ます。ALS2とALS2Vウエハは大気から高真空環境にて安全に使用することが出来ます。

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ALS2とALS2Vウエハは閉じられたチャンバーの中から通信することが出来ますか？
はい出来ます。ウエハーセンス製品は閉じたチャンバーた装置内に配置した状態から通信出来るように設計されています。

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Wどのような装置でALS2とALS2Vウエハを使うことが出来ますか？

ALS2とALS2Vウエハは殆どの半導体製造装置にて使えるように設計されました。ALS2はシリコンウエハと同じように搬送することが可能なので、装置内に簡単に配置することが出来ます。代表的な装置は以下です。

  • 拡散工程ファーネイス
  • ウエハ搬送用ロボット
  • カセット搬送系
  • メトトロロジー装置
  • CVD成膜/スパッタリング/エッチング装置
  • フォトリソ工程トラック装置

詳細は弊社のカスタマーサポート へお問い合わせください。

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メンテナンスと修理について

ALS2とALS2Vウエハは定期的に校正サービスを受ける必要があるのでしょうか？ 
はい必要です。ウエハ工場における通常の測定器と同様にALS2とALS2Vウエハも仕様上のパフォーマンスを継続して得るため定期的な校正を必要とします。弊社は12カ月に1回弊社工場（アメリカ）に送り返し電池の交換、校正と校正証明書の再発行を行う事を推奨しています。その手順などにつきましては。弊社のカスタマーサポートにお問い合わせください。

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ALS2とALS2Vウエハの電池の寿命はどれくらいでしょうか？ 
ALS2とALS2Vウエハは10年の寿命を持つ充電可能な電池ｗ搭載しています。この電池は500回のディスチャージと充電を繰り返した場合に８０％の容量までに落ちる特性を持っています。80℃以上の環境下にて保管、使用を行うと電池が持つ容量が著しく低下しますのでご注意ください。また100℃を超える環境では使用しないでください。このバッテリーは弊社工場における校正サービスによってのみ交換が可能であり、お客様側での交換は出来ません。

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ALS2とALS2Vウエハが正しく動作しているかどうかを確認する方法はありますか？

ALS2とALS2Vウエハは工場における校正後約12カ月間は正常な状態で測定出来るように設計されています。校正期日はセンサー上部の側面に記載されていますし、またLevelViewソフトのHelpからAbout LevelViewにて校正期日を確認することも出来ます。

もし、校正期日から12カ月以上経っているのであれば、弊社のカスタマーサポートと連絡してそのALS2ウエハを弊社工場（アメリカ）に送り返し校正することを推奨致します。もしゼロ点調整が出来る安定した台があれば、水平方向の調整をLevelViewのCalibrate機能にて行うことも可能です。

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WALS2とALS2Vウエハがダメージを受けてしまったらどうすればいいでしょうか？ 
もし取り扱いを誤ったりダメージをALS2ウエハに与えてしまったら、弊社のカスタマーサポート にお問い合わせください。

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ALS2とALS2Vの校正サービスとは？ 
サイバーオプティクスセミコンダクター社の工場（アメリカ）においてALS2とALS2Vの校正、電池交換、測定器としての精度確認、修理向けの検査、校正証明書の再発行を行います。もし修理が必要であると検査結果で分かった場合には、修理代の見積作成も行います。

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LevelView™と LevelReview™ ソフトウエア

LevelView と LevelReview ソフトとは？ 
LevelViewソフトはリアルタイムに傾斜測定値をモニタリングするソフトです。LevelReviewソフトはLevelViewにてLOG保存された傾斜データを再生するソフトです。

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ALS2とALS2VウエハはデータをＬＯＧ記録することが出来ますか？

はい出来ます。LevelViewソフトにおいて“Log a Reading Now” ボタンを押してください。

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ALS2とALS2Vウエハで測定されたデータをエクセルのようなソフトで読み込むことが出来るのでしょうか？

はい出来ます。LevelViewにてLOG保存されたデータはCSV形式なので、エクセルにて読み込むことが出来ます。

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インターフェイス、コンタミ及び安全性

ALS2とALS2VウエハはLevelViewソフトとどのようにして通信するのでしょうか？
ALS2とALS2Vウエハはブルートゥース通信にてパソコンのUSBポートに挿されたUSBリンクとの通信を行います。ブルートゥース通信は2.4 GHz帯の電波を使います。

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工場でブルートゥースを使う事は安全ですか？ 
ウエハーセンスのUSBリンクはクラスBのデジタルデバイス（FCC法の15条）に準拠しています。その条例の項目は一般の住居にて普通に使われる環境を想定して管理されています。弊社はウエハーセンスデバイスに関わる干渉などの問題を聞いたことがありません。

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ALS2とALS2Vウエハを安全に取り扱う方法は？

ALS2とALS2Vウエハはシリコンウエハよりもかなり頑丈に出来ています。それは精密電子機器なので取り扱いは丁寧にお願い致します。例えばロードポートのドアなどの硬いもので衝撃を加えたり落としたりしないでください。

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ALS2とALS2Vウエハがアウトガスを発生することはないですか？

ありません。アウトガスの資料に関しては、弊社のカスタマーサポート にお問い合わせください。

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ALS2とALS2Vウエハからパーティクルが発生することはないですか？ 

ありません。パーティクルの資料に関しては、弊社の カスタマーサポート にお問い合わせください。

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ALS2とALS2Vウエハのクリーン度をメンテナンスするには？

サイバーオプティクスセミコンダクター社はALS2とALS2Vウエハに関する部品をSEMI標準のクリーン環境で組み立ています。このレベルのクリーン度を保つようにメンテナンスするには半導体グレードのIPAにて充電ケースの外側、内側の部品をふき取ることを推奨しています。

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トラブルシューティング

エラーメッセージ"FTD2XX.DLL is missing"が出てくるのですが、どうしたらいいですか？

エラーメッセージ "FTD2XX.DLL is missing" が出てくる要因を挙げます。

  1. USBリンクは正しくパソコンに繋がっている。

  2. LevelViewがパソコン側で立ちあげられている。しかしUSBリンクのドライバーがインストールされていない。

解決法: USBリンクのドライバーがインストールされていれば、このメッセージは出てきません。ソフトをインストールした直後に、必ずUSBリンクをＵＳＢポートに挿しこんでプラグアンドプレイによるドライバーのインストールを実施してください。エラーメッセージ後にドライバーを再インストールする場合は、ソフトから再インストールする必要があります。

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ALS2とALS2VウエハがＵＳＢリンクを通信していないようなのですが、どうしたらいいでしょうか？

PowerのLEDが点灯していることを確認してください。このPowerのLEDは、以下の条件で点灯するはずです。

  1. ドライバーがインストールされている。

  2. USBポートが電源供給機能を持っている。

ドライバーのインストール方法:

ＵＳＢリンクのドライバーはAVSウエハ製品に附属のCDに入っています。そのインストール後に、USBリンクをＵＳＢポートに挿しこんで、プラグ＆プレイによって正しくドライバーのインストールを実施してください。（VibeViewを立ち上げる前に実施する必要があります）。AVSウエハとUSBリンクのPair　LEDが点灯していると通信が正常に行われている状態であり、 点滅していると通信されていない状態であり、ペアリングが必要となります。

ペアリングについて:

  1. ドライバーが正しくインストールされていることを確認してください。

  2. ＵＳＢリンクをＵＳＢポートに挿入してください。VibeViewソフトはまだ立ち上げないでください。

  3. PowerのLEDが点灯していることを確認してください。

  4. ＵＳＢリンクの右側にあるボタンを10秒間押して、そして離してください。PairとConnectionのLEDが早く点滅しだします。

  5. 次にAVSウエハ上部のPairボタンを10秒間押して話してください。そしてお互いに都合の良いコードを見つけることが出来たら、点滅から点灯に変わります（ペアリングが実施され通信可能な状態）。

  6. ペアリングが正常に行われていることを確認した後に、VibeViewソフトを立ち上げてください。

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ALS2とALS2Vウエハが頻繁に通信不良を起こすのですが、どうしたらいいのでしょうか？

要因を挙げます:

パソコンのバッテリーオプション設定:

パソコンによっては、省エネモードなどによりＵＳＢポートが提供する電源パワーを落とす場合があります。特にパソコンの電池が消耗しているときに起こるようです。それがＵＳＢリンクの通信を途絶えさせる原因となりえます。

解決方法:

  • 出来るだけＡＣ電源をノートパソコンに供給してください。

  • パソコンの電源オプションを最大のシステムパフォーマンスの状態に設定してください。

  • ALS2とALS2Vウエハとノートパソコンはフル充電したから使ってください。

ＵＳＢポートの不良

解決方法:

  • 他のＵＳＢポートを試してみてください。

  • ＵＳＢケーブルが正しく接続されていることを確認してください。

  • 他のパソコンを試してみてください。

ＵＳＢリンクの配置位置がＡＶＳウエハから離れすぎている場合

解決方法:

  • ＵＳＢリンクをALS2とALS2Vウエハに、より近い場所に配置してください。

  • もし、チャンバーに覗き窓がついていたり、ALS2とALS2Vウエハが通信するのに都合の良い場所があるのであれば、そこにＵＳＢリンクを配置してください。

ALS2、ALS2VウエハとＵＳＢリンクにおける不良

解決方法－弊社のカスタマーサポートに協力を要請してください:

  • ＵＳＢリンクを交換してみる
  • ALS2やALS2Vウエハを交換してみる

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