ウエハーセンス® オートバイブレーションセンサー (AVS) FAQ
サイバーオプティクスセミコンダクター社は以下にウエハーセンスAVSに関する、よくある質問に対しての回答を行います。
このよくある質問FAQコーナーには、新しい質問と回答を継続して載せていきます。もしあなたの質問が存在しない場合は弊社の カスタマーサポートにご連絡ください。
動作原理など
製品の使い方と仕様について
- AVSの測定レンジは？
- AVSの測定分解能は？
- AVSを使用する環境の温度範囲は？
- AVSは真空中でも使えるのですか？
- AVSを密閉した真空チャンバー内にて使い、通信出来るのでしょうか？
- どのような装置でAVSを使う事が出来るのでしょうか？
メンテナンスと修理について
- AVSウエハは定期的に校正を行う必要がありますか？
- 推奨する精度確認方法はありますか？
- AVSウエハの電池はどれくらい持つのでしょうか？
- どのようにしてAVSウエハが正常に振動データを測定していると判断するのでしょうか？
- もしAVSウエハが損傷を受けた場合、どのようにすれば良いのでしょうか？
ソフトウエアVibeView™, VibeReview™ について
インターフェイス、コンタミ及び安全性について
- AVSウエハはどのようにしてソフトウエアVibeViewと通信するのでしょうか？
- 半導体工場内にてブルートゥースを使っても安全なのでしょうか？
- HAVSウエハを扱う上での安全性は？
- AVSウエハを高温環境下にて使用した場合のアウトガスは？
- AVSウエハからパーティクルが出てこないでしょうか？
- HAVSウエハの清潔度をどのようにして保つのでしょうか？
トラブルシューティング
動作原理
AVSウエハは何の目的で使用されるのですか？
AVSウエハは搬送中やプロセス中にウエハが感じる振動を測定する為に使用されます。例えばプロセス装置内におけるプロセスを行うステージやそこに搬送される搬送系の振動を測定します。
どのようにしてAVSウエハは振動を測定するのでしょうか？
AVSウエハは3つのMEMS (microelectromechanical)デバイスを使って、ウエハが感じるXYZ方向の加速度を測定しています。それぞれの軸においてMEMSデバイス内には静電容量センサが入っていて振り子が揺れる位置を測定しています。その位置変化を加速度として計算しているのです。その静電容量の変化がADコンバータを通してデジタルデータに変換されます。
製品の使い方と特徴について
AVSウエハの測定レンジは？
AVSウエハは-2 G から +2 Gの範囲で測定します。1Gは1重力。
AVSウエハの測定分解能は？
AVSウエハの測定分解能は+/-0.001 Gです。
AVSウエハの動作可能な温度範囲は？
AVSウエハは20ºC から70ºCの範囲で精度良く動作します。
AVSウエハは真空中で使えますか？
AVSウエハは大気から高真空（10-6トール）まで、安全に使用することが出来ます。
AVSウエハは真空チャンバーの中から通信を行うことが出来るのですか？
はい。ウエハーセンス製品は閉じた装置、真空チャンバー内から通信出来るように設計されています。
どのような装置でAVSウエハを使う事が出来ますか？
AVSウエハは殆どの半導体プロセス装置にて使うことが出来ます。AVSウエハはシリコンウエハのように搬送することが出来るので、多くの搬送装置や位置に移動、配置することが出来ます。以下はAVSウエハを使える例です。
- 拡散工程ファーネイス
- ウエハ搬送用ロボット
- カセット搬送ロボット
- メトロロジー装置
P詳細は弊社の カスタマーサポート にお問い合わせください。
メンテナンスと修理について
AVSウエハは定期的に校正サービスを受ける必要があるのでしょうか？
はい必要です。工場内にて使用される測定器と同じように、AVSウエハも定期的な校正を仕様内のパフォーマンスを行う為に必要とします。弊社はAVSウエハを弊社工場（アメリカ）に送り返し、電池交換、校正、再証明書発行を行うことを推奨しています。詳しいことは弊社の カスタマーサポートにお問い合わせください。
使用現場において測定精度を確認する方法はありますか？
いいえ。弊社はAVSウエハを弊社工場（アメリカ）に送り返して電池交換、校正、再構成証明書発行を行うことを推奨しています。
AVSウエハの充電電池はどれくらい持ちますか？
AVSウエハが搭載している充電式電池は10年のシェルライフを持っています。AVSウエハを80度以上の高温環境下にて保管または使用すると、著しく電池の保持電力を損ないます。AVSウエハを決して100度以上の高温にさらさないでください。電池の交換は弊社の工場（アメリカ）においてのみ実施が可能です。
AVSウエハが正しい振動測定を行っているかどうかを確認する方法はありますか？
AVSウエハは校正後およそ12カ月間は精度の良い測定を行えるように設計されています。AVSウエハの校正期日はセンサー部の側面に記載されています。またソフトウエアVibeViewのHelpメニューからこの情報を確認することも出来ます。
もし12カ月以上経ってしまった場合は、AVSウエハを弊社工場（アメリカ）に送り返し校正を行うサービスを推奨しています。詳細は弊社の カスタマーサポート にお問い合わせください。
AVSウエハがダメージを受けてしまった場合、どうすればいいのでしょうか？
もしAVSウエハを誤って損傷を与えてしまった場合などは、弊社の カスタマーサポートに合問い合わせください。弊社における検査、校正、修理に関する対応をとらせて頂きます。
VibeView™, VibeReview™ ソフトウエアについて
VibeView と VibeReview ソフトウエアとは？
VibeView ソフトウエアとは、リアルタイムに振動をモニタリングするソフトのことです。VibeReviewソフトウエアはVibeViewソフトにてLOGされた振動データを再生するものです。
AVSシステムはデータＬＯＧの機能を持ちますか？
はい持ちます。VibeViewソフトのRecord DataにおけるSTARTボタンを押すと振動データを記録することが出来ます。
AVSウエハにて記録されたLOGデータをエクセルのような他のソフトにて読み込むことが出来るのでしょうか？
はい出来ます。VibeViewおよびVibeReviewの両方からCSVファイルをエキスポートすることが可能です。
インターフェイス、コンタミ及び安全性について
AVSウエハはどのようにしてVibeViewソフトと通信するのでしょうか？
AVSウエハはブルートゥース技術を使って、パソコンのUSBポートに挿されたUSBリンクと通信を行います。ブルートゥースは2.4 GHzの周波帯を使います。
FAB内でブルートゥースを使っても安全でしょうか？
ウエハーセンスのUSBリンクはクラスBのデジタルデバイス（FCC法の15条）に準拠しています。その条例の項目は一般の住居にて普通に使われる環境を想定して管理されています。弊社はウエハーセンスデバイスに関わる干渉などの問題を聞いたことがありません。
AVSウエハを安全に取り扱う方法は？
AVSウエハはシリコンウエハよりもかなり頑丈に出来ています。それは精密電子機器なので取り扱いは丁寧にお願い致します。例えばロードポートのドアなどの硬いもので衝撃を加えたり落としたりしないでください。
AVSウエハがアウトガスを発生することはないですか？
ありません。アウトガスの資料に関しては、弊社のカスタマーサポート にお問い合わせください。
AVSウエハからパーティクルが発生することはないですか？
ありません。パーティクルの資料に関しては、弊社のカスタマーサポート にお問い合わせください。
AVSウエハのクリーン度をメンテナンスするには？
サイバーオプティクスセミコンダクター社はAVSウエハに関する部品をSEMI標準のクリーン環境で組み立ています。このレベルのクリーン度を保つようにメンテナンスするには半導体グレードのIPAにて充電ケースの外側、内側の部品をふき取ることを推奨しています。
トラブルシューティング
エラーメッセージ "FTD2XX.DLL is missing"が出てくるのですが、どうしたらいいのでしょうか？
エラーメッセージ"FTD2XX.DLL is missing"が出てくる要因を挙げます:
- USBリンクは正しくパソコンに繋がっている。
- VibeViewがパソコン側で立ちあげられている。しかしUSBリンクのドライバーがインストールされていない。
解決法: USBリンクのドライバーがインストールされていれば、このメッセージは出てきません。ソフトをインストールした直後に、必ずUSBリンクをＵＳＢポートに挿しこんでプラグ&プレイによるドライバーのインストールを実施してください。エラーメッセージ後にドライバーを再インストールする場合は、ソフトから再インストールする必要があります。
AVSウエハがＵＳＢリンクを通信していないようなのですが、どうしたらいいでしょうか？
PowerのLEDが点灯していることを確認してください。このPowerのLEDは、以下の条件で点灯するはずです。
- ドライバーがインストールされている。
- USBポートが電源供給機能を持っている。
ドライバーのインストール方法:
ＵＳＢリンクのドライバーはAVSウエハ製品に附属のCDに入っています。そのインストール後に、USBリンクをＵＳＢポートに挿しこんで、プラグ＆プレイによって正しくドライバーのインストールを実施してください。（VibeViewを立ち上げる前に実施する必要があります）。AVSウエハとUSBリンクのPair LEDが点灯していると通信が正常に行われている状態であり、 点滅していると通信されていない状態であり、ペアリングが必要となります。
ペアリングについて:
- ドライバーが正しくインストールされていることを確認してください。
- ＵＳＢリンクをＵＳＢポートに挿入してください。VibeViewソフトはまだ立ち上げないでください。
- PowerのLEDが点灯していることを確認してください。
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ＵＳＢリンクの右側にあるボタンを10秒間押して、そして離してください。PairとConnectionのLEDが早く点滅しだします。
-
次にAVSウエハ上部のPairボタンを10秒間押して話してください。そしてお互いに都合の良いコードを見つけることが出来たら、点滅から点灯に変わります（ペアリングが実施され通信可能な状態）。
- ペアリングが正常に行われていることを確認した後に、VibeViewソフトを立ち上げてください。
AVSウエハが頻繁に通信不良を起こすのですが、どうしたらいいのでしょうか？
要因を挙げます:
パソコンのバッテリーオプション設定:
パソコンによっては、省エネモードなどによりＵＳＢポートが提供する電源パワーを落とす場合があります。特にパソコンの電池が消耗しているときに起こるようです。それがＵＳＢリンクの通信を途絶えさせる原因となりえます。
解決方法:
- 出来るだけＡＣ電源をノートパソコンに供給してください。
- パソコンの電源オプションを最大のシステムパフォーマンスの状態に設定してください。
- AVSウエハとノートパソコンはフル充電したから使ってください。
ＵＳＢポートの不良
解決方法:
- 他のＵＳＢポートを試してみてください。
- ＵＳＢケーブルが正しく接続されていることを確認してください。
- 他のパソコンを試してみてください。
ＵＳＢリンクの配置位置がＡＶＳウエハから離れすぎている場合
解決方法:
- ＵＳＢリンクをＡＶＳウエハに、より近い場所に配置してください。
- もし、チャンバーに覗き窓がついていたり、ＡＶＳウエハが通信するのに都合の良い場所があるのであれば、そこにＵＳＢリンクを配置してください。
ＡＶＳウエハとＵＳＢリンクにおける不良
解決方法－弊社のカスタマーサポートに協力を要請してください:
- ＵＳＢリンクを交換してみる
- AVSウエハを交換してみる